Продукция
Обработка прецизионных деталей для полупроводникового оборудования
Прецизионные механические детали для полупроводникового оборудования, относятся к специализированным механическим компонентам, используемым внутри полупроводниковых установок для процессов обработки пластин, травления, осаждения тонких плёнок и других технологических операций.
Описание
маркер
Описание продукции
Прецизионные механические детали для полупроводникового оборудования, относятся к специализированным механическим компонентам, используемым внутри полупроводниковых установок для процессов обработки пластин, травления, осаждения тонких плёнок и других технологических операций.
Материал
Обычно используются алюминиевые сплавы (6061, 7075), нержавеющая сталь, керамика, титановые сплавы. Наибольшее применение имеют алюминиевые сплавы благодаря лёгкости, хорошей обрабатываемости; часть изделий подвергается анодированию или твёрдому анодированию поверхности. Для некоторых корпусных деталей применяется специальная нержавеющая сталь, отвечающая требованиям работы в вакууме и коррозионной стойкости. Полупроводниковые детали предъявляют строгие требования к чистоте материала, отсутствию внутренних пор и примесей во избежание загрязнения пластин частицами.
Конструктивные особенности
1. Плоские базовые приспособления и основания: с установочными пазами и монтажными отверстиями, используются для позиционирования пластин и регулировки рабочих позиций.
2. Каркасные рамные детали: опорные рамы оборудования, сборочные рамы корпусов, с большим количеством прецизионных монтажных отверстий и отверстий под установочные штифты.
3. Крупногабаритные цилиндрические детали с щелевыми прорезями: с частыми узкими длинными прорезями, обычно используются как изолирующие гильзы или кольца распределения воздушного потока, для распределения газов внутри оборудования и в вакуумных камерах.
4. Различные кольцевые детали: прецизионные крупные кольца с множеством малых отверстий / тонких канавок, используются для уплотнения камер, распределения газов, в качестве несущих колец. Общая особенность: множество полостей, канавок, плотное расположение отверстий, чрезвычайно высокие требования к размерным допускам и допускам формы и расположения, наличие множества узких щелей и микроканавок.
Технология изготовления
1. Заготовка: кованая алюминиевая заготовка / кованая нержавеющая сталь, строгий контроль внутренних дефектов материала для предотвращения попадания частиц в полупроводниковую камеру.
2. Прецизионная фрезерная обработка: высокоточные обрабатывающие центры с ЧПУ, обработка большого количества микроканавок, малых отверстий, полостей сложной формы. Обработка тонкостенных и щелевых конструкций подвержена деформации, предъявляет жёсткие требования к режущему инструменту и режимам резания.
3. Поверхностная обработка: анодирование, пассивация, полировка; для некоторых изделий требуется электрополировка класса чистоты для уменьшения выделения частиц с поверхности.
4. Прецизионный контроль: измерения на координатно-измерительной машине (КИМ) — проверка отверстий, плоскостности, параллельности, размеров щелей.
5. Очистка: специальная сверхчистая очистка для полупроводниковой промышленности, удаление остатков стружки и масел после обработки, соответствие стандартам использования в безпыльных цехах.
Особенности изделия
1. Чрезвычайно высокий класс точности: размеры, плоскостность, позиционирование отверстий — допуски на уровне микрометров, строгие требования к однородности размеров узких щелей и канавок.
2. Жёсткие требования к чистоте: деталь не должна выделять частиц и примесей для предотвращения загрязнения пластин, что могло бы снизить выход годных чипов.
3. Сложная конструкция: большое количество тонкостенных элементов, щелей, перфорированных и канавочных структур, обработка склонна к деформациям.
4. Условия эксплуатации: работа в вакууме и в среде специальных технологических газов, предъявляются строгие требования к коррозионной стойкости материала и показателю газовыделения.
Область применения
Внутри установок плазмохимического травления, оборудования для нанесения покрытий, установок обработки пластин — выполняет функции поддержки, позиционирования пластин, распределения газовых потоков, изоляции камер, оснастки и базирования, является ключевым механическим конструктивным элементом полупроводникового оборудования.
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
Обрабатываемая деталь — кольцевое приспособление нестандартной формы
Обычно используется сталь 45# или легированная конструкционная сталь 40Cr; при необходимости снижения веса применяется алюминиевый сплав. Сталь проходит термообработку (улучшение) для обеспечения жёсткости и стойкости к деформациям при воздействии сил резания. Рабочие поверхности могут подвергаться закалке для повышения износостойкости.
Пластмассовый корпус автомобильного электронного модуля
Пластмассовый корпус автомобильного электронного модуля является ключевым защитным компонентом, необходимым для современных автомобильных электронных систем управления.
Обрабатываемая деталь — открытое центробежное рабочее колесо
Рабочее колесо имеет только задний дисковый покрывающий диск, передний покрывающий диск отсутствует, лопасти полностью открыты и непосредственно выступают внутрь рабочей камеры. Конструкция состоит из трёх основных частей: ступица, лопасти и задний покрывающий диск.
Усилительный элемент ходовой части автомобиля
Материал: Высокопрочная автомобильная конструкционная сталь (например, QStE-серии / SPFH-серии и другие марки высокопрочной стали), обеспечивающая требуемые прочностные характеристики и сопротивление усталости для элементов ходовой части.
Пресс-форма для литья пластмассовых деталей корпуса телевизора
Пресс-форма для литья пластмассовых деталей корпуса телевизора является ключевым технологическим оснащением, необходимым для производства пластиковых деталей корпуса телевизора.
Пластмассовые наружные детали автомобиля
Пластмассовые наружные детали автомобиля являются ключевым компонентом, необходимым для формирования внешнего вида и защиты современных автомобилей.
Прогрессивный штамп для холодной штамповки автомобильных деталей
Технология: Изготавливается из высокотвёрдой штамповой стали с применением прецизионной обработки, термической обработки, полировки и других операций. Предназначен для использования на высокоскоростных и среднескоростных линиях штамповки.
Верхняя половина штампа для горячей штамповки одинарного дверного усилителя
Верхняя половина штампа для горячей штамповки одинарного дверного усилителя (ключевой компонент штампа) является обязательным технологическим оснащением, необходимым для производства горячештампованных одинарных дверных усилителей.
Горячештампованные элементы порогов кузова
Горячештампованные элементы порогов и боковых балок пола кузова являются ключевыми деталями, обеспечивающими защиту нижней части кузова современных автомобилей и повышение жёсткости конструкции.
Обрабатываемая деталь — соединительный переходник для бурильных труб
Соединительный элемент бурильной колонны, с двух сторон имеет специальную конструкцию, оснащён пазами для высоконагруженных проушин и резьбовым соединением. Предназначен для соединения бурильных труб в скважине, передаёт огромные крутящие моменты и растягивающие усилия при бурении.
Горячештампованный усилитель стойки B с зоной пониженной прочности
Горячештампованный усилитель стойки B с зоной пониженной прочности — ключевой конструктивный элемент, необходимый для обеспечения безопасности при боковом ударе в современных автомобилях.
Усилитель переднего лонжерона автомобиля
Материал: Высокопрочная и сверхвысокопрочная автомобильная сталь (например, сталь для горячей штамповки / DP-сталь), обеспечивающая требуемые прочностные характеристики и энергопоглощающие свойства для пассивной безопасности.
Пластмассовая деталь органов управления автомобиля
Пластмассовая деталь органов управления автомобиля является ключевым функциональным компонентом, необходимым для современных систем автомобильного интерьера.
Горячештампованный усилитель стойки A
Горячештампованный усилитель стойки A — ключевой конструктивный элемент, необходимый для обеспечения безопасности при боковом ударе в современных автомобилях.
Усилительный элемент кузова автомобиля
Технология: Многооперационная холодная штамповка с использованием многопозиционного прогрессивного штампа. Включает операции вырубки, формовки, пробивки отверстий и обрезки, что обеспечивает высокую точность геометрии детали.
Обрабатываемая деталь — лопатка турбинного диска
В основном используются жаропрочные сплавы (никелевые жаропрочные сплавы), для некоторых опытных образцов применяется титановый сплав. Преимущества никелевых жаропрочных сплавов: высокая прочность при высоких температурах, сопротивление ползучести, окислению и коррозии, способность выдерживать воздействие горячих газов с температурой свыше тысячи градусов Цельсия внутри двигателя, что делает их основным материалом для турбинных лопаток.
